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對低壓真空滲碳爐的主要優點和特點進行了比較，以便更全面地掌握和理解。
常規滲碳工藝的溫度受爐子性能的影響，更大使用溫度限制在950℃以內。然而，真空滲碳爐技術的改進可以將更大使用溫度提高到1050℃。隨著溫度的升高，滲碳速度可以大大提高，從而大大縮短同樣滲碳深度的時間，有利于提高生產效率和降低生產成本。提高低壓真空滲碳的使用溫度為提高生產效率提供了前提。因此，在不影響零件力學性能的情況下，采用更高的滲碳溫度可以顯著提高滲碳速度。
通過AISI8620鋼制造重載傳動齒輪，可以看出，為了達到相同的滲碳深度和真空滲碳深度，不僅真空滲碳比普通滲碳節省74分鐘(生產周期只有普通滲碳的82%)，而且齒輪經過真空滲碳氣淬硬化后，表面仍能保持金屬本色，無內氧化，變形大大減少，為滲碳后期的磨削加工節省了難度和時間，質量水平和使用可靠性成倍提高(據了解，目前汽車行業的高端低壓齒輪箱使用齒輪需要34分鐘。
大量實驗數據證明，低壓滲碳技術的優異結果已經被用戶所接受，尤其是在常規滲碳難以解決的深層滲碳質量差(網狀碳化物在長期滲碳過程中產生)的問題上，真空滲碳的實際滲碳時間大大降低，其優勢非常明顯。
有些人將真空滲碳與常規滲碳相同的滲碳有效硬化層進行比較。
與常規滲碳相比，真空滲碳可以獲得相同的滲碳有效硬化層。通過對比大量滲碳齒輪，發現低壓真空滲碳層的高硬化區域一般可以達到常規滲碳的兩倍以上。SIMUWU格航真空認為，這一特性可以保證齒輪在滲碳和磨削后能夠保持相當有效的硬化層。此外，低壓真空滲碳避免了內氧化，滲層質量更好，保證了齒輪的可靠性和使用壽命。